產品名稱：退火爐
產品類別：熱工處理設備
產品編號：23927-508
產品型號：退火爐
北京環創科學儀器有限公司生產的系列熱工設備：
L4811Ⅱ/RZQ立式真空燒結退火爐
【產品簡介】
真空燒結退火爐是為滿足半導體器件和磁性材料行業的大批量、高生產率的要求而設計的一種較先進的燒結設備，主要用于管芯和管座的燒結，也可以做擴散，退火設備用。是生產半導體器件和磁性材料燒結、退火工序中的重要設備。
【產品特點】
●加熱元件均布爐膛內，分布合理；
●爐蓋可設有熱風循環裝置，可使爐罐內的氣氛及溫度均勻；
●可配真空泵抽氣，增加換氣速度，氣氛更純凈；
● 有保護氣氛，經退火后產品無氧化，消除加工應力，提高鐵心磁性能，降低鐵損；
● 爐溫控制采用PID自動調功平滑控溫。
【主要技術指標】
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立式真空燒結退火爐 |
雙工位立式真空燒結爐 |
臥式真空燒結退火爐 |
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工作溫度 |
400--1250℃ |
800--1200℃ |
400--1250℃ |
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單點溫度控制精度 |
≤±1℃/24h |
≤±2℃/24h |
≤±1℃/24h |
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恒溫區長度及精度 |
≥200mm±1℃ |
≥400mm±1℃ |
≥400mm±1℃ |
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升溫功率 |
≤12KVA |
≤22KW |
≤16KVA |
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升溫時間 |
(室溫至1050℃）≤75min |
（室溫至1000℃）≤50min |
（室溫至1100℃）＜75min |
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保溫功率 |
≤6KVA |
≤11KVA |
≤8KVA |
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重新定值重復性 |
≤±1℃ |
≤±1℃ |
≤±1℃ |
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重開機 重復性 |
≤±1℃ |
≤±1℃ |
：≤±1℃ |
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冷態 真空度 |
5*10-3Pa |
3*10-3 Pa |
5*10-3Pa |
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